密閉性測(cè)試
2026-02-27

密閉性測(cè)試用于確認(rèn)有無(wú)被污染的空氣從相鄰潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))通過(guò)吊頂、隔墻等表面或門(mén)、窗滲漏入潔凈室(區(qū))。

 一般適用于1級(jí)至5級(jí)的潔凈室(區(qū))進(jìn)行測(cè)試。采用光度計(jì)法和粒子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行測(cè)試。

采用粒子計(jì)數(shù)器法時(shí),測(cè)量被評(píng)價(jià)的表面的潔凈室(區(qū))外部的空氣中懸浮粒子濃度,應(yīng)比潔凈室(區(qū))內(nèi)的濃度大一個(gè)10a(a=4)的倍數(shù),并至少大于等于3.5×106/m3待測(cè)粒徑;若其空氣中懸浮粒子濃度小于該值,應(yīng)添加氣溶膠提高濃度。

粒子計(jì)數(shù)器掃描時(shí),儀器應(yīng)距離潔凈室(區(qū))內(nèi)待測(cè)試的接縫密封處或嚙合面510cm;掃描速度5cm/s。對(duì)敞開(kāi)的門(mén)廊處的測(cè)試,應(yīng)在距離潔凈室(區(qū))內(nèi)敞開(kāi)的門(mén)0.3 3.0m處檢測(cè)空氣中懸浮粒子濃度。

密閉性測(cè)試